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新型水溶性咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法

来源:独旅网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN201910662834.1 (22)申请日 2019.07.22 (71)申请人 陕西科技大学

地址 710021 陕西省西安市未央区大学园区陕西科技大学

(10)申请公布号 CN110306193A

(43)申请公布日 2019.10.08

(72)发明人 张万斌;张光华;罗杰

(74)专利代理机构 西安智大知识产权代理事务所

代理人 王晶

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

新型水溶性咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法

(57)摘要

新型结构的咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备

方法,此类缓蚀剂的特点是以咪唑啉胺结构中的伯氨基为化学反应基团,将季铵盐结构以共价键形式直接引入咪唑啉结构中。此类缓蚀剂的制备方法为:首先,通过月桂酸(或油酸)与二乙烯三胺反应制备月桂酸咪唑啉胺(或油酸咪唑啉胺);之后,利用月桂酸咪唑啉胺(或油酸咪唑啉胺)与2,3‑环氧丙基三甲基氯化铵反应,制备其相应的新型咪唑啉季铵盐缓蚀剂。发明的有益效果在

于,所得咪唑啉季铵盐缓蚀剂具有良好的水溶性,制备过程避免了有毒物质的使用,易实现绿色生产。

法律状态

法律状态公告日

2019-10-08 2019-10-08 2019-11-01

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

法律状态

公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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