专利名称：VERSATILE FLOW RATE CONTROLLER发明人：OHMI, TADAHIRO,KAGATSUME,
SATOSHI,HIROSE, JUN,NISHINO, KOUJI
申请号：EP99935121申请日：19990809公开号：EP1026566A4公开日：20040317
摘要：Array
申请人：FUJIKIN INCORPORATED,TOKYO ELECTRON LIMITED,OHMI, TADAHIRO
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