湿法剥离中防止氮化镓基垂直LED衬底被腐蚀的方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610099451.4 （22）申请日 2016.02.23

（71）申请人 河源市众拓光电科技有限公司

地址 517000 广东省河源市高新技术开发区兴业大道东边、高新一路创业服务中心三楼

（10）申请公布号 CN105679889A

（43）申请公布日 2016.06.15

317室

（72）发明人 李国强

（74）专利代理机构 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)

代理人 李健富

（51）Int.CI

H01L33/00; H01L21/306;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

湿法剥离中防止氮化镓基垂直LED衬底被腐蚀的方法

（57）摘要

本发明提供湿法剥离中防止氮化镓基垂直

LED衬底被腐蚀的方法，该方法用于防止氮化镓基垂直LED片硅腐蚀液湿法剥离过程中不被腐蚀，该氮化镓基垂直LED片自下至上依次由硅衬底、LED外延层和金属衬底复合而成；该方法依次包括清洗、旋涂表面处理剂、旋涂表面处理剂

光刻胶、刷涂光刻胶和烘干，以在金属衬底层上依次形成表面处理剂层以及在该氮化镓基垂直LED片外形成光刻胶层步骤。该方法使用的原料均可市售，原料成本低廉；该方法在氮化镓基垂直LED片衬底在湿法剥离过程中不易损伤；该方法能更有效地防止外延层的翘曲，减少了裂纹的产生。

法律状态

法律状态公告日2016-06-15 2016-06-15 2016-07-13 2016-07-13 2019-05-17

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效

发明专利申请公布后的驳回

权利要求说明书

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说明书

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