专利名称：核探测器碲锌镉晶片表面钝化的方法专利类型：发明专利
发明人：桑文斌,闵嘉华,王昆黍,秦凯丰,樊建荣,钱永彪申请号：CN200410084748.0申请日：20041202公开号：CN1632933A公开日：20050629
摘要：本发明涉及一种核探测器碲锌镉晶片表面钝化的方法，具体的说就是核探测器碲锌镉晶片制造过程中最后一道工序钝化工艺的改进方法，属半导体探测材料制造技术领域。本发明方法是先按传统工艺将碲锌镉晶片进行抛光、表面腐蚀、沉积金电极和表面钝化，包括有四个工艺程序，其特征为，在最后的表面钝化程序中采用两步法，两步法的钝化工艺如下：先用KOH－KCl溶液进行表面处理，获得接近化学计量比的碲锌镉晶片表面，然后再用NHF/HO混合溶液进行钝化生成氧化层，这样既可获得化学计量比较好的碲锌镉晶片表面，又可在该表面形成起保护作用的高阻氧化层，从而可改善碲锌镉探测器的性能。
申请人：上海大学
地址：200072 上海市闸北区延长路149号
国籍：CN
代理机构：上海上大专利事务所
代理人：顾勇华
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