专利名称：抗蚀剂组合物专利类型：发明专利
发明人：斯科特·刘易斯,理查德·温培尼,斯蒂芬·耶茨,安东尼
奥·费尔南德兹
申请号：CN201680062388.5申请日：20160929公开号：CN108351587A公开日：20180731
摘要：本发明涉及抗蚀剂组合物，具体涉及能用于光刻术中、特别是用于集成电路和派生产品的制造中的光致抗蚀剂。本发明的抗蚀剂组合物包括具有显著量的空隙并因此具有较少散射中心的抗散射成分，使得在曝光期间更加限制辐射散射事件。这种抗散射效应能够通过减少与光刻技术相关的常见邻近效应而使得分辨率改善，从而允许制造更小、更高分辨率的微芯片。此外，某些实施方式包括直接与抗蚀剂组分相连的抗散射组分，这能够改善总体光刻化学，从而在分辨率和抗蚀剂敏感性方面均提供益处。
申请人：曼彻斯特大学
地址：英国曼彻斯特
国籍：GB
代理机构：北京安信方达知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容