专利名称：一种SOI平面波导布拉格光栅及制作方法专利类型：发明专利
发明人：熊迪,谭满清,郭文涛,焦健,郭小峰申请号：CN201810719625.1申请日：20180702公开号：CN108919414A公开日：20181130
摘要：本发明提供了一种高端面反射率窄反射带宽的SOI平面波导布拉格光栅及其制作方法，该光栅能有效进行窄带滤波，减小背面反射，实现高的端面反射率，提高波导与光纤的耦合效率；同时，能够实现SOI波导光栅制作过程中高精度的对准以及制备，保证光栅在脊型波导内脊表面的均匀分布，保证光栅图形与脊型边缘的垂直特性，从而保证SOI波导光栅的性能。
申请人：中国科学院半导体研究所
地址：100083 北京市海淀区清华东路甲35号
国籍：CN
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：周天宇
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