专利名称：含第Ⅳ族金属元素化合物、其制备方法、含其的膜
形成用前体组合物及用其的膜形成方法
专利类型：发明专利
发明人：韩元锡,高元勇,朴明镐申请号：CN201980011626.3申请日：20190201公开号：CN111683953A公开日：20200918
摘要：本发明提供新型含第Ⅳ族金属元素的化合物、所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的制备方法、包含所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的膜形成用前体组合物、以及利用所述含第Ⅳ族金属元素的化合物的含第Ⅳ族金属元素膜的形成方法。具有如下优点：能够通过使用本申请的实现例所涉及的新型含第Ⅳ族金属元素的化合物的原子层沉积法而与以往已知的含第Ⅳ族金属元素的化合物相比在更高的温度下形成含第Ⅳ族金属元素膜。
申请人：UP化学株式会社
地址：韩国京畿道
国籍：KR
代理机构：北京市中伦律师事务所
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