专利名称:一种半导体材料、半导体薄膜及其制备方法专利类型:发明专利
发明人:王庶民,潘文武,李耀耀,王朋,王凯,吴晓燕,崔健申请号:CN201510240317.7申请日:20150512公开号:CN104810454A公开日:20150729
摘要:本发明提供一种半导体材料、半导体薄膜及其制备方法,通过在生长磷化铟(InP)材料时加入少量镓(Ga)和铋(Bi)元素形成全新的InGaPBi材料,通过改变Ga元素的百分比含量实现晶格常数的调控,室温下短波红外区域光致发光谱波长覆盖范围极宽的材料。比如当Bi和Ga的元素百分含量分别为1.6%和2.3%时,该材料室温光致发光谱的波长覆盖范围可以达到1.4~2.7μm,半峰宽达到600nm,同时在Ga元素的补偿作用下,其晶格常数与InP衬底接近匹配。本发明报道的InGaPBi单晶材料为世界上首次成功合成。此InGaPBi红外光源材料可采用常规分子束外延、金属有机物化学气相沉积等多种方法进行生长,结构和操作工艺简单,易于控制。
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址:200050 上海市长宁区长宁路865号
国籍:CN
代理机构:上海光华专利事务所
代理人:余明伟
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