（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201310007865.6 （22）申请日 2013.01.09
（71）申请人 国际商业机器公司;环球铸造有限公司
地址 美国纽约
（10）申请公布号 CN103199056A
（43）申请公布日 2013.07.10
（72）发明人 S·M·盖茨;A·格里尔;E·T·赖恩 （74）专利代理机构 北京市中咨律师事务所
代理人 于静
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
具有高机械强度的介电材料
（57）摘要
本发明涉及具有高机械强度的介电材料。
描述了一种多相超低k电介质方法，其包含第一前体和第二前体、在PECVD腔中的高频射频功率以及包括紫外辐射的能量后处理，所述第一前体包含含有基团Si-(CH
法律状态
法律状态公告日
2013-07-10
公开
法律状态信息
公开
法律状态
法律状态公告日
2013-08-07 2015-08-12
法律状态信息
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
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说明书
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