（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201811275118.X （22）申请日 2018.10.19 （71）申请人 济南大学
地址 250000 山东省济南市南辛庄西路336号
（10）申请公布号 CN109207964A
（43）申请公布日 2019.01.15
（72）发明人 李志明;赵丽丽;过润秋;张进成;冯兰胜 （74）专利代理机构
代理人
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置
（57）摘要
本发明的一种用于电阻加热式MOCVD反应
室的加热装置，包括基座，基座包括圆柱形的导热体，导热体内底部开有若干个同心且深度不同的环形卡槽，每个环形卡槽内均设置有一个环形的加热电阻，环形卡槽和加热电阻的排布采用自带流体与热传导方程的多物理场仿真软件进行仿真，并将热传导模型与流体模型进行耦合计算得出。本发明的有益效果是：本发明通过调节加热电阻的产热量，并调节环形卡槽的尺寸，使导热
体表面的温度分布均匀性提高。
法律状态
法律状态公告日
2019-01-15 2019-01-15 2019-02-12
公开 公开
实质审查的生效
法律状态信息
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法律状态
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权利要求说明书
一种用于电阻加热式MOCVD反应室的加热装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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