用莫尔条纹分析光栅传感器的原理及应用
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工作原理：当使指示光栅上的条纹与标尺光栅上的条纹成一角度来放置两光栅尺时，必然会造成两光栅尺上的条纹互相交叉。再光源的照射下，交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠，因而避光面积最小，挡光效应最弱，光的累积作用使得这个区域出现亮带。相反，交叉点较远的区域，因两光栅尺不透明的黑色先问的重叠部分变得越来越少，不透明区域面积逐渐变大，即遮光面积变大，使得挡光效应变强，只有较少的光线能通过这个区域透过光栅，使得这个区域出现暗带。应用：评价及测试光栅质量 光刻对准中，莫尔条纹进行纳米级高精度自动对准,如纳米压印对准
热心网友
想知道可以去找电子经纬仪的书来看........
莫尔条纹是光栅盘的.光栅传感器是接收信号的......
