PVD进片室、隔离室、缓冲室除加热外还有什么作用?为何要分成三个室呢

发布网友 发布时间:2022-04-23 09:10

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热心网友 时间:2023-10-09 03:28

还有除水气、理片---理齐工艺边的功能,分三个室目的是主要是真空要求,还有硅片表面颗粒数和污染物的要求。

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