深硅刻蚀设备电极不匹配怎么解决

发布网友 发布时间:2022-04-23 09:24

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热心网友 时间:2023-10-09 11:13

刻蚀设备的发展和光刻技术,互连技术密切相关。High K / Low K材料,铜互连,Metal Gate,double Pattern等技术的发展都对刻蚀设备提出了新的需求·

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