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真空泵分类广泛,主要有WLW系列立式无油真空泵、W型往复式真空泵、2X,2XZ型旋片式真空泵、ZJ,ZJH型罗茨真空泵(ZJH型为专利产品)、2SK、SK型水环式真空泵、2BV、2BA型水环式真空泵、H、2H型滑阀真空泵、TLZ型真空泵、SL型罗茨鼓风机、JZJHX型罗茨旋片真空机组、JZJHS型罗茨水环真空机组、JZJHWLW型立式无油真空机组、JZJP型罗茨水喷射真空机组、JZJHBA型罗茨水环真空机组、RPP型水喷射真空泵、JZJH2H型罗茨滑阀式真空机组等型号。
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按其工作原理基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。
气体输送泵包括:1、液环真空泵(水环式真空泵)2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式螺杆真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等。
气体捕集泵包括:吸附泵和低温泵等
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真空泵:滑阀式、旋片式、罗茨式、往复式、水环式、喷射式六种结构。
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真空泵按照其结构类型可以分为水环式真空泵、旋片式真空泵、往复式真空泵、螺杆式真空泵、罗茨真空泵等
按循环液可以分为水循环真空泵,油循环真空泵,无油真空泵等
按腐蚀性能分为普通型和耐腐蚀型等
按安全等级分为普通型和防爆型等
按电压分为单相型和三相型等
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真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体,以达到产生,改善和维持真空的目的。其工作原理可以分为机械,物理和化学方式。根据要达到的真空度不同,常常需要2种以上的真空泵相组合。
代表的真空泵
1:旋转式机械泵
2:分子泵(TMP)
3:离子泵
4:Ti升华泵
5:低温泵
曾经被广泛使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。