1.4螺杆真空泵的历史
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发布时间：2024-10-23 19:39
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时间：2024-10-26 13:56
螺杆真空泵的起源可以追溯到双螺杆压缩机，但与螺杆压缩机不同的是，螺杆真空泵需要吸气口。
干式单头型线双螺杆真空泵，也就是我们常说的干式螺杆泵，它对双螺杆压缩机的型线、冷却方式、压缩比、螺杆泵体间隙、电机功率转速等方面进行了适当的调整，以便在真空环境下实现高抽速和解决绝热问题。
关于干式螺杆泵的起源时间，它应该比湿式双螺杆压缩机晚一些。
1950年代，螺杆压缩机开始产业化，但当时需要润滑油进行冷却和密封。
在上世纪十年代，干式螺杆泵在日本实现了量产化。日本Ebra、Ulvac、Kashiyama、Taiko；美国Tuthill；欧洲Edwards、Pfeifer、Buch、Lebold；中国汉钟、久铮等，都是干式螺杆真空泵的代表企业。
其中，Edwards的ixl系列螺杆泵非常具有代表性：它采用了变径变距螺杆设计；泵温闭环控制水冷模块，能够实现可控的热变形；集成智能N2吹扫模组及高可靠轴封系统；集成电控及变频器；定制电机；陶瓷球轴承及氟素润滑油更加可靠运行，轴承寿命增加一倍；泵体旁通阀，避免高气载工况下的过载。
另外，Ebara EST系列螺杆真空泵也非常有代表性：它采用了高镍球铁转子泵体及轴承板，高温尺寸稳定；活塞环密封更耐磨；润滑油量监控防止干磨；双电机高通过性。
展望未来二十年，世界螺杆真空泵研发和应用的中心必将在中国。
